怎樣選擇干式真空泵

為了適應(yīng)不同的使用要求，干式真空泵被分為許多不同類型的設(shè)備。對(duì)此，為了適應(yīng)不同的使用需求，下面將介紹如何正確選擇它們。

不同類型的干式真空泵，我們總是渴望能夠減小它們的物理尺寸。然而，這與真空泵的抽速相矛盾，干式真空泵的抽速與容積成正比。較小的物理尺寸意味著體積也很小。當(dāng)然，影響干式真空泵抽速的另一個(gè)重要因素是速度。為了使小型真空泵的吸氣速度與大型真空泵的吸氣速度相匹配，需要提高速度。改變干式真空泵轉(zhuǎn)速的方法有兩種，一種是改變電源的頻率，即使用變頻器；另一種是改變變速箱的傳動(dòng)比。其中，使用變頻器的優(yōu)點(diǎn)是可以提供閉環(huán)控制，但在重載時(shí)容易造成轉(zhuǎn)矩?fù)p失。改變變速箱的傳動(dòng)比是一種非常經(jīng)濟(jì)的方法，當(dāng)然只能提供單速，無法控制。

意外的干式真空泵錯(cuò)誤會(huì)降低機(jī)器效率，影響晶圓生產(chǎn)和交付，甚至導(dǎo)致晶圓報(bào)廢和其他零件的加工損壞。由于螺桿設(shè)計(jì)采用單級(jí)設(shè)計(jì)，與滾珠槽、爪形和組合等多級(jí)泵相比，使用的零件數(shù)量可減少60%。這對(duì)于干式真空泵的穩(wěn)定性和未來維護(hù)成本來說是一個(gè)很大的優(yōu)勢(shì)。

一般來說，如果用戶認(rèn)為功耗對(duì)他來說很重要，那么選擇內(nèi)壓螺桿干式真空泵可能是一個(gè)不錯(cuò)的選擇，而氮含量對(duì)他來說并不重要。但總的來說，對(duì)廢氣處理的要求越來越嚴(yán)格，未來減少氮?dú)獾氖褂昧烤惋@得尤為重要。如果您想在不使用簡單的庫存控制泵改變它們的情況下處理各種半導(dǎo)體工藝，外部壓縮螺釘干式真空泵是較好的選擇。

結(jié)合上述所有設(shè)計(jì)類型的優(yōu)點(diǎn)是理想的，具體取決于具體情況，但目前還不可能。因此，用戶需要了解干式真空泵的設(shè)計(jì)類型，然后根據(jù)自己的工藝特點(diǎn)了解不同類型的泵設(shè)計(jì)的影響。這種選擇可以降低干式真空泵使用成本，并獲得更長的使用壽命和穩(wěn)定的真空系統(tǒng)。